MEMS傳感器產業化項目入選2017重大標志性項目

　　MEMS傳(chuan)感(gan)器產(chan)(chan)業(ye)化項目是國高(淄博(bo))微(wei)系統科技(ji)有限公司、淄博(bo)高新技(ji)術產(chan)(chan)業(ye)開發區(qu)MEMS研究院等(deng)單位共同建立的(de)國內(nei)一流的(de)MEMS代工(gong)(gong)線(xian)。MEMS代工(gong)(gong)線(xian)是國內(nei)首(shou)家專業(ye)化的(de)中試代工(gong)(gong)平臺，也是山東省第一家批量生(sheng)產(chan)(chan)微(wei)型傳(chuan)感(gan)器的(de)專業(ye)化平臺。MEMS技(ji)術是特(te)征尺度跨越微(wei)米和(he)納米兩個鄰接微(wei)小領域的(de)高新技(ji)術，也是信息化、智能(neng)化的(de)關鍵(jian)核心(xin)技(ji)術，MEMS傳(chuan)感(gan)器技(ji)術具有微(wei)型化、低成本(ben)、低功耗(hao)、高可(ke)靠、高性能(neng)等(deng)諸多優勢，是當今世界制造(zao)業(ye)的(de)趨勢和(he)熱(re)點。
　　
　　據(ju)(ju)MEMS傳(chuan)感器產(chan)(chan)(chan)業化項目(mu)負責人介紹，國(guo)高(淄博)微系統公司擁有先(xian)進的代工模式，從(cong)自(zi)主知識產(chan)(chan)(chan)權、生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)(chan)控(kong)制等方(fang)面全方(fang)位(wei)入手(shou)，以智能制造設備應用、裝置自(zi)動化方(fang)案為基礎(chu)，在(zai)實現各項生(sheng)(sheng)產(chan)(chan)(chan)經營管理工作信息化的同時(shi)，有效打(da)通(tong)了企(qi)業智能制造的數據(ju)(ju)通(tong)道。
　　
　　MEMS孵化(hua)器(qi)已建(jian)成10萬平方米，形(xing)成穩(wen)定的(de)45個(ge)單項(xiang)工(gong)(gong)藝(yi)和(he)17個(ge)產品工(gong)(gong)藝(yi)流程。國家(jia)高(gao)新(xin)區MEMS研究院成立了國內MEMS領(ling)域(yu)15名(ming)頂尖(jian)專(zhuan)家(jia)組成的(de)專(zhuan)家(jia)委(wei)員會(hui)，負(fu)責高(gao)精度(du)陀(tuo)螺儀、MEMS繼電器(qi)和(he)加(jia)速(su)度(du)計等(deng)器(qi)件研發(fa)(fa)，引領(ling)平臺的(de)發(fa)(fa)展方向及工(gong)(gong)藝(yi)評審。去年9月份(fen)，清華大學、同方股份(fen)、淄(zi)博高(gao)新(xin)區三方達成戰(zhan)略(lve)合作協議(yi)，研究院建(jian)設、平臺發(fa)(fa)展、基金(jin)設立、項(xiang)目落地、產業園區建(jian)設等(deng)協議(yi)內容的(de)各項(xiang)工(gong)(gong)作正在(zai)快速(su)推進。高(gao)新(xin)區將在(zai)現有(you)加(jia)工(gong)(gong)設備條件和(he)環境下，開(kai)展MEMS制造技術封裝與裝配過程中關鍵技術的(de)研究和(he)開(kai)發(fa)(fa)，真(zhen)正解決其關鍵技術形(xing)成核心發(fa)(fa)明專(zhuan)利，為(wei)進一步的(de)產業化(hua)奠定良好的(de)知識(shi)產權基礎。